Sondergase

Sondergase verfügen über physikalische oder chemische Eigenschaften, können aber gleichwohl als Gasgemische auftreten. Dabei unterliegen sie eventuell einer hohen Anforderung an die Gasreinheit und stellen eine Herausforderung sowohl im Hinblick auf die Handhabung als auch mit Blick auf jedes Kontrollsystem dar.

Zahlreiche Applikationen sind heute ohne Sonder- und Reinstgase nicht realisierbar. Sonder- und Reinstgase kommen hier u.a. als Betriebs-, Arbeits-, Träger-, Null-, Referenz- oder Ätzgase zum Einsatz.

Beispiele Sondergase
	Sondergas für Plasmaätzanlage. Gasarten dürfen nicht genannt werden.
	Entnahmestellengruppe für die Halbleiterindustrie Gasarten: Ammoniak, Dichlorsilan, Diboran, Stickstoff und Sauerstoff.
	Entspannungsstationen für die Halbleiterindustrie mit Spülblock und Berstscheibenüberwachung in einer Sicherheitszelle mit Gaswarnanlage. Gasarten: Diboran und Dichlorsilan
	Gassteuertafel mit Massendurchflussregler für die Halbleiterindustrie. Gasarten: Diboran, Dichlorsilan, Stickstoff.